Optiskajam dizainam ir plašs pielietojumu klāsts pusvadītāju laukā. Fotolitogrāfijas mašīnā optiskā sistēma ir atbildīga par gaismas staru fokusēšanu, ko izstaro gaismas avots, un projicēšanu uz silīcija vafeļu, lai pakļautu ķēdes modeli. Tāpēc optisko komponentu projektēšana un optimizācija fotolitogrāfijas sistēmā ir svarīgs veids, kā uzlabot fotolitogrāfijas mašīnas veiktspēju. Šie ir daži no optiskajiem komponentiem, ko izmanto fotolitogrāfijas mašīnās:
Projekcijas mērķis
01 Projekcijas mērķis ir galvenais optiskais komponents litogrāfijas mašīnā, kas parasti sastāv no virknes objektīviem, ieskaitot izliektus objektīvus, ieliektas lēcas un prizmas.
02 Tās funkcija ir samazināt maskas ķēdes modeli un fokusēt to uz vafeļu, kas pārklāts ar fotorezistu.
03 Projekcijas mērķa precizitāte un veiktspēja ir izšķiroša ietekme uz litogrāfijas mašīnas izšķirtspēju un attēlveidošanas kvalitāti
Spogulis
01 Spoguļitiek izmantoti, lai mainītu gaismas virzienu un novirzītu to uz pareizo vietu.
02 EUV litogrāfijas mašīnās spoguļi ir īpaši svarīgi, jo materiāli viegli absorbē EUV gaismu, tāpēc ir jāizmanto spoguļi ar augstu atstarošanos.
03 Reflektora virsmas precizitāte un stabilitāte arī ļoti ietekmē litogrāfijas mašīnas veiktspēju.
Filtri
01 Filtri tiek izmantoti, lai noņemtu gaismas nevēlamos viļņu garumus, uzlabojot fotolitogrāfijas procesa precizitāti un kvalitāti.
02 Izvēloties atbilstošo filtru, var nodrošināt, ka litogrāfijas mašīnā nonāk tikai noteikta viļņa garuma gaisma, tādējādi uzlabojot litogrāfijas procesa precizitāti un stabilitāti.
Prizmas un citas sastāvdaļas
Turklāt litogrāfijas mašīna var izmantot arī citas papildu optiskās sastāvdaļas, piemēram, prizmas, polarizatorus utt., Lai izpildītu īpašas litogrāfijas prasības. Šo optisko komponentu izvēlei, projektēšanai un ražošanai stingri jāievēro attiecīgie tehniskie standarti un prasības, lai nodrošinātu litogrāfijas mašīnas augsto precizitāti un efektivitāti.
Rezumējot, optisko komponentu pielietojums litogrāfijas mašīnu jomā mērķis ir uzlabot litogrāfijas mašīnu veiktspēju un ražošanas efektivitāti, tādējādi atbalstot mikroelektronikas ražošanas nozares attīstību. Nepārtraukti attīstot litogrāfijas tehnoloģiju, optisko komponentu optimizācija un inovācijas nodrošinās arī lielāku nākamās paaudzes mikroshēmu ražošanas potenciālu.
Lai iegūtu vairāk atziņu un ekspertu padomus, apmeklējiet mūsu vietni vietnēhttps://www.jiujonoptics.com/Lai uzzinātu vairāk par mūsu produktiem un risinājumiem.
Pasta laiks: janvāris-02-2025
